超聲波噴涂是一種利用超聲波霧化技術(shù)進(jìn)行的噴涂工藝。其噴涂的材料首先為液體狀態(tài)，液體可以是溶液、溶膠、懸浮液等，液體涂料先通過(guò)超聲波霧化裝置霧化成微細(xì)顆粒，然后再經(jīng)一定量的載流氣體均勻涂覆在基材對(duì)表面，從而形成涂層或薄膜。超聲波噴涂與傳統(tǒng)的單流體或二流體噴涂的區(qū)別在于霧化裝置或霧化噴頭采用了超聲波霧化裝置，即超聲波噴頭。超聲噴涂與傳統(tǒng)的二流體噴涂相比，具有涂層均勻度高、原料利用率高、涂層厚度控制精度高、涂層厚度更薄、飛濺少、噴頭不堵塞、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)。而相比于真空蒸鍍、cvd等鍍膜工藝，超聲噴涂是一種更加經(jīng)濟(jì)的薄膜涂覆工藝，尤其是在較大面積薄膜制備上，超聲噴涂的設(shè)備成本低于真空鍍膜設(shè)備。
超聲波噴涂的主要優(yōu)勢(shì)有：
1.涂層均勻度高
通過(guò)超聲噴頭霧化后的液體顆粒分布均勻度顯著高于二流體噴頭，也就是俗稱的空氣噴槍，從而超聲噴頭噴涂后的涂層均勻度也就有了提高。通常情況，超聲噴涂的涂層均勻度可達(dá)到95%以上。
2.原料利用率高，飛濺少
由于超聲噴涂是通過(guò)超聲波振蕩進(jìn)行的液體霧化，涂料被霧化的過(guò)程不需要任何氣體，也就是霧化過(guò)程無(wú)需壓力，僅僅在霧化后施加很低的載流氣壓力來(lái)輸送液霧，故此一定程度地減少了二流體噴涂高壓空氣造成的液體反彈和飛濺，從而大幅提高了涂料的利用率。超聲噴涂的原料利用率是普通空氣噴涂的4倍以上，利用率可到90%以上。
3.涂層厚度控制精度高
影響涂層厚度精度的主要因素是涂料的噴涂流量，也就是單位時(shí)間內(nèi)基材上的載料量。超聲噴頭對(duì)液體無(wú)任何壓力作用，故此可通過(guò)高精度的計(jì)量泵控制霧化噴涂的涂料液體流量，從而實(shí)現(xiàn)了高精度的噴涂流量控制。如高精度的注射泵，其流量控制精度可達(dá)皮升每秒的級(jí)別，而對(duì)超聲噴頭的微流道設(shè)計(jì)也可整體實(shí)現(xiàn)納升每秒的控制精度。
4.涂層厚度薄，可達(dá)到幾十納米
由于超聲噴頭的噴霧量可以實(shí)現(xiàn)極低的穩(wěn)定流量（0.001ml/min），故此可在基材上實(shí)現(xiàn)極少的上載量，從而實(shí)現(xiàn)很薄的干膜。對(duì)于某些納米材料，其干膜厚度可低至數(shù)十納米。可用于制備如透明導(dǎo)電膜、增透減反射膜、隔熱膜、親疏水膜等玻璃薄膜。
5.噴頭不堵塞、維護(hù)成本低
由于超聲噴頭是通過(guò)超聲振蕩來(lái)實(shí)現(xiàn)的液體霧化，而霧化顆粒的由超聲振蕩頻率來(lái)決定，故此其與二流體噴頭不同，噴頭的孔徑無(wú)需很小來(lái)實(shí)現(xiàn)細(xì)小的霧化顆粒，所以減少了噴頭堵塞的風(fēng)險(xiǎn)。
關(guān)鍵詞：計(jì)量泵 注射泵

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