真空紫外 ～ 軟x射線光譜儀總覽
mcpherson可提供掠入射紫外光譜儀,c-t，s-n，正入射，平場掠入射，掠入射c-t等多種結構的光譜儀，滿足不同的應用，覆蓋紅外 - 可見 - 紫外 - 真空紫外 - 紫外 - 軟x射線全波段。
大多數光譜儀可以和andor 真空紫外ccd相機配合使用，成為該波段的攝譜儀。
同時，mcpherson提供范圍為寬廣的vuv - xuv 光源、真空內光學器件、真空快門、真空狹縫等等，并可組建完整的真空紫外光譜系統。
波長范圍
(nm)
分辨率
(nm)
焦距
(mm)
型號
結構
掃描
功能
ccd/
mcp適配
成像
超高真空
（選項）
30 - 2,200
0.1
200
234/302
像差矯正s-n
●
●
●
30 - 1,200
0.05
500
235
s-n
●
●
●
105 - 20,000
0.04
670
207v
c-t
●
●
●
●
30 - 1,200
0.015
1,000
225
自動聚焦正入射
●
●
●
●
30 - 1,200
0.025
1,000
231
s-n
●
●
●
105 - 20,000
0.01
1,330
209v
c-t
●
●
●
●
30 - 250
0.005
3,000
2253
自動聚焦正入射
●
●
●
●
30 - 250
<0.002
6,650
265
離面正入射
●
●
●
●
<1 - 310
0.018
1,000
248/310
羅蘭圓掠入射
●
●
●
<1 - 80
0.02
5,650
251mx
平場變柵距光柵掠入射
●
●
8 - 120
0.08
800
op-xct
離面掠入射c-t
●
●
●
●
8 - 120
0.1
2,000
xct
掠入射 c-t
●
●
●
●
10 - 170
0.05
292
251
平場輪胎面光柵掠入射
●
●
●
離面掠入射c-t結構光譜儀
234/302 s-n 結構光譜儀
xuv空心陰光源
真空紫外光譜測試系統

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