icp發射光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，icp發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。icp發射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。
icp發射光譜法包括了三個主要的過程，即： 　由plasma提供能量使樣品溶液蒸發、形成氣態原子、并進一步使氣態原子激發而產生光輻射； 　將光源發出的復合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜； 　用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。 　由于待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同，據此可對樣品進行定性分析；而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。

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