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探針臺測試系統(tǒng)簡介

探針臺,是我們半導體實驗室電學性能測試的常用設(shè)備,也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項優(yōu)勢,高性能低成本,用途廣,操作方便,在不同測試環(huán)境下,測試結(jié)果穩(wěn)定,客觀,深受工程師們的青睞。
探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的cp測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導體測試設(shè)備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機,不同環(huán)節(jié)中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實驗臺,它的諸多設(shè)計都是專用的。因此,高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設(shè)計。例如,要求的磁場值,均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等,均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián);位移臺還可與磁流體密封搭配,實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動;除此之外,該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場的高穩(wěn)定性。因此,該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設(shè)計優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個(可選6個或8個)擁有高精度位移的探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應(yīng)用于半導體工業(yè)、mems、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領(lǐng)域。
可選附件:
t各類dc探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
tccd或c-mos視頻成像裝置
tchuck運動裝置
t電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t1mpa正壓系統(tǒng)升級
t超高溫升級選件
t超高真空升級選件
t各類探針夾具
t屏蔽箱
t防振桌
t轉(zhuǎn)接頭
t靜音真空泵
探針臺的維護和保養(yǎng):
1.避免碰撞:在安裝,操作探針臺時應(yīng)避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發(fā)生故障或異常異音。
2.儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。
儀器運輸應(yīng)使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械精密部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。
探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發(fā)生故障或危險。
探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物,注意使用安全。
停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
操作人員必須嚴格按要**作,以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用。
4.工作環(huán)境
探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,最好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。
關(guān)鍵詞:芯片 分選機 實驗臺 位移臺 電子顯微鏡

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