hmds鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層hmds，降低了hmds處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
hmds鍍膜機的使用注意事項：
1、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來越難洗的現象。烘干后再鍍膜，頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。
2、定期更換擴散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1x102pa，擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態后，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產生傷害人的嚴重后果。
3、平時整個系統要保持真空狀態，工作前才充入氣體，不要使真空室長期暴露在大氣中。
4、經常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封處加上真空脂。
5、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。
6、在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個真空系統抽至真空狀態，注意不要加熱擴散泵，用手動打開精抽閥，然后按放氣閥按鈕讓系統充入大氣，當真空室充滿大氣后就可進行拆卸擴散泵和閥門。
7、停旋片泵、滑閥泵時，要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣，否則會引起回油，污染真空管道。因此，電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時，必須及時進行修理或更換。
8、對于偏北地區，在寒冷季節，夜間和較長時間停機時，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
9、精抽系統要待真空壓強達到3pa后才能工作，若在過高的壓強下進行抽氣，會使擴散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命。
10、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質量。
11、在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。
關鍵詞：鍍膜機 真空泵 放氣閥 電磁閥 氣動閥

---

紐扣式稱重傳感器的原理及特點
臥式排污泵參數表
新型固液分離機原理與設計
光伏玻璃接觸角
小型真空干燥箱的維護和保養方法是什么？
詳細盤點HMDS鍍膜機的使用注意事項
河南土壤修復回轉窯是一種土壤修復環保設備
安防PPP模式在智慧城市建設中前景與趨勢
德國KTR聯軸器的選型方法
預制聚氨酯直埋保溫管承插口粘結的操作要
高低溫實驗箱的技能原理與原則常識
深圳洗砂污水處理壓濾機生產廠家
800LH激光測距儀
船用電機產品的運行條件與軸承轉速有什么關系
RCZ-8N智能藥物溶出儀技術參數
利亞德受邀參加2019世界超高清視頻產業發展大會
VOCs在線報警監測儀使用特點
牛奶巴氏殺菌板式換熱器流程
電子推拉力計型號及參數
微生物發酵罐如何維護保養