激光干涉儀是以干涉測(cè)量法為原理，利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)，對(duì)數(shù)控設(shè)備的位置精度、定位精度、重復(fù)定位精度以及幾何精度等進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。
主要特點(diǎn)：
1、同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。
2、設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5d/6d傳感器。
3、可選的無(wú)線遙控傳感器長(zhǎng)的控制距離可到25米。
4、可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
5、全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架。
6、集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間。
7、激光干涉儀可以同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角等以及測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性等。
8、激光干涉儀的光源——激光，具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。
9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)使用。
維修保養(yǎng)：
1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng)時(shí)應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。
2、光學(xué)零件不用時(shí)應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，擦拭時(shí)須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙mi混合液輕拭。
3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑，特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用精密儀表油潤(rùn)滑。
4、使用時(shí)各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。
5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后仍保持不失油狀態(tài)。
6、經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲都涂有紅漆，不應(yīng)擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。

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