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濕電子化學(xué)品廢氣怎么處理

1.濕電子化學(xué)品廢氣簡(jiǎn)述
濕電子化學(xué)品,又稱超凈高純化學(xué)品,是指主體成分純度大于99.99%,雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑的總稱,主要包括刻蝕液、剝離液、清洗液、顯影液。
近年來,濕電子化學(xué)品成為了超大規(guī)模集成電路(ic)制造業(yè)深入、快速發(fā)展中越來越的、支撐其新技術(shù)發(fā)展的重要輔助材料。因此,它也成為在電子化學(xué)品中需求量大幅度增加、產(chǎn)量與技術(shù)高速發(fā)展的一類產(chǎn)品。濕電子化學(xué)品目前廣泛應(yīng)用在平板顯示、led、太陽(yáng)能電池、光磁記錄存儲(chǔ)體產(chǎn)品等領(lǐng)域中,并且在這些新型應(yīng)用領(lǐng)域中發(fā)展前景廣闊。但是濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過程產(chǎn)生、氮氧化物、醋酸、vocs等廢氣污染物,這些廢氣污染物,如果未經(jīng)過收集凈化處理,直接排放進(jìn)入大氣空氣中,不僅造成周邊大氣環(huán)境空氣污染,還會(huì)對(duì)周邊居民身體健康有傷害,因此,對(duì)濕電子化學(xué)品廢氣進(jìn)行凈化處理后,達(dá)到潔凈空氣排放要求。
2.濕電子化學(xué)品廢氣處理方法
濕電子化學(xué)品在生產(chǎn)過程產(chǎn)生廢氣主要為、氮氧化物、醋酸、vocs等廢氣污染物,對(duì)于、氮氧化物、醋酸等酸性廢氣處理采用間堿洗法即可處理,然而對(duì)于vocs有機(jī)廢氣處理方法有很多種,常見主要有活性炭吸附法、燃燒法、uv光解凈化法,下面天浩洋環(huán)保小編詳細(xì)介紹濕電子化學(xué)品廢氣處理方法。
2.1酸性廢氣處理方法
集氣罩收集酸性廢氣通過管道輸送進(jìn)入堿洗塔,經(jīng)廢氣洗滌塔酸堿中和處理后,達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。
2.2 有機(jī)廢氣處理方法
(1)活性炭吸附法
活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅膠、分子篩等)來處理有機(jī)廢氣,這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分,并且將其吸附在吸附劑的表面,從而達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度(≤800mg/m3)、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
活性炭?jī)艋矢撸ɑ钚蕴课娇蛇_(dá)到90%以上),實(shí)用遍及,操縱簡(jiǎn)單,投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭,更換活性炭需要費(fèi)用,替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進(jìn)行危廢處理,運(yùn)行費(fèi)用高。
(2)燃燒法
燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行燃燒,分解為co2和h2o。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣,可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。
排放濃度大于5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法,該方法將vocs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒,燃燒溫度一般控制在1100℃,處理效率高,可以達(dá)到95%一99%。
熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣,采用熱力燃燒法,廢氣中vocs濃度較低,需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w,熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低,大約為540—820℃。燃燒法處理vocs廢氣處理效率高,但vocs廢氣若含有s、n等元素,燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會(huì)導(dǎo)致二次污染。
通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機(jī)廢氣,其凈化率是比較高的,但是其投資運(yùn)營(yíng)成本。因廢氣排放的點(diǎn)多且分散,很難實(shí)現(xiàn)集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時(shí)連續(xù)不斷運(yùn)行且濃度較高而穩(wěn)定的廢氣工況,不適合間斷性的生產(chǎn)產(chǎn)線工況。催化燃燒的投資和運(yùn)營(yíng)費(fèi)用相對(duì)熱力燃燒較低,但凈化效率也相對(duì)較低一些;但貴金屬催化劑容易因?yàn)閺U氣中的雜質(zhì)(如硫化物)等造成中毒失效,而更換催化劑的費(fèi)用很高;同時(shí)對(duì)廢氣進(jìn)氣條件的控制非常嚴(yán)格,否則會(huì)造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。
(3)uv光解凈化法
uv光解凈化法利用高能uv紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧(即活性氧),因游離氧所攜帶正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合,進(jìn)而產(chǎn)生臭氧,臭氧具有很強(qiáng)的氧化性,通過臭氧對(duì)有機(jī)廢氣、惡臭氣體進(jìn)行協(xié)同光解氧化作用,使有機(jī)廢氣、惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、co2和h2o。
uv光解凈化法具有高效處理效率,可達(dá)到95%以上;適應(yīng)性強(qiáng),可適應(yīng)中低濃度,大氣量,不同有機(jī)廢氣以及惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理;產(chǎn)品性能穩(wěn)定,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,每天可24小時(shí)連續(xù)工作;運(yùn)行成本低,設(shè)備耗能低,無需專人管理與維護(hù),只需作定期檢查。uv光解法因采用光解原理,模塊采取隔爆處理,消除了安全隱患,防火、防爆、防腐蝕性能高,設(shè)備性能安全穩(wěn)定,特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。
以上關(guān)于濕電子化學(xué)品廢氣處理方法介紹,希望可以幫到您,其實(shí)對(duì)于濕電子化學(xué)品廢氣處理,一般是需要根據(jù)廢氣的濃度、產(chǎn)生量、廢氣成分、如何收集等方面進(jìn)行設(shè)計(jì)收集處理。如果您有濕電子化學(xué)品廢氣需要凈化處理,可以隨時(shí)電話,咨詢天浩洋環(huán)保,為您提供濕電子化學(xué)品廢氣處理方案及設(shè)備。
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