8713 型質(zhì)量流量控制器 (mfc) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 mems 傳感器可以實現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個直動式 bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件，確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 pi 控制器，令 mfc 具備桌越的控制特性。8713 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。與上級設(shè)備的通信*采用數(shù)字形式，這樣一來，就可以省去額外的數(shù)模轉(zhuǎn)換。8713 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用，例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗臺。
標(biāo)稱流量范圍：0.010 ln/min 至 80 ln/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
通過 rs485 進(jìn)行數(shù)字通信
緊湊型版本
8713型控制與工藝技術(shù)中大多數(shù)應(yīng)用相關(guān)的氣體質(zhì)量流量。測量值將在
根據(jù)
信號；如果存在控制差，則將控制值輸出到
比例閥將使用pi控制算法進(jìn)行修改。由于
事實上，傳感器直接與氣體接觸，響應(yīng)非常快
達(dá)到mfc的時間。這樣，質(zhì)量流可以保持在
可以遵循固定值或預(yù)定義的配置文件，而不管
系統(tǒng)中的壓力變化或其他變化。8713型可選擇校準(zhǔn)兩種不同的氣體，用戶可以在
這兩種氣體。作為控制元件的直接作用比例閥
保證了mfc的高靈敏度和良好的控制特性。
該儀器與主設(shè)備進(jìn)行數(shù)字通信，無需進(jìn)一步的a/d
需要轉(zhuǎn)換。可以使用massflowcommunicator軟件
用于參數(shù)化和診斷。
直接流量測量
mems.標(biāo)稱流量技術(shù)
從10mln/min到80ln/min（n2）
?高精度和重復(fù)性
?沉降時間短
?緊湊的設(shè)計和數(shù)字通信
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)稱流量范圍1）
（q標(biāo)稱）
10mln/min2）至80ln/min（氮氣），
見表2
調(diào)低比為1:50，可根據(jù)要求提高調(diào)低比
工作氣體中性，無污染氣體，
應(yīng)要求
校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣
大工作壓力
（入口壓力）
10巴（145磅/平方英寸）
取決于閥門的孔
氣體溫度-10至+70°c（-10至+60°c，含氧）
環(huán)境溫度-10至+50°c3）
準(zhǔn)確度±0.8%o.r.±0.3%f.s。
（預(yù)熱1分鐘后）
重復(fù)性±0.1%f.s。
穩(wěn)定時間（t95%）<300毫秒
材料
身體
住房
海豹
鋁或不銹鋼
金屬
fkm、epdm
端口連接npt?，g?，旋入式配件或底座，
其他應(yīng)要求
控制閥
閥孔板
k
vs值
常閉式
0.05至4.0毫米
0.00006至0.32 m3/h
電氣。連接插頭d-sub 9針
24 v直流電源
電壓公差±10%
殘余波紋<2%
功耗3.5-11.5瓦
（取決于使用的控制閥）
通過rs485（半雙工或全雙工）進(jìn)行數(shù)字通信，
rs422
防護(hù)等級ip40
尺寸[mm]見圖紙第5-6頁
總重量約500 g（鋁體）
水平或垂直安裝
發(fā)光二極管
（默認(rèn)功能，
其他可編程功能）
電源指示，
極限與誤差
二進(jìn)制輸入
（默認(rèn)功能，
其他可編程功能）
啟動自動調(diào)諧
二進(jìn)制輸出
（默認(rèn)功能，
其他可編程功能）
一個繼電器輸出：
1限制（未達(dá)到設(shè)定值）
大負(fù)載：25v，1a，25va
1） 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個
額定流量范圍（可能的）定義了額定流量范圍。
2） 指數(shù)n：指1.013 bar和0°c的流量。
或者，指數(shù)s指1.013巴和20°c
3） 使用內(nèi)部5w閥門時： 高40°c
實際流量由傳感器檢測。這是根據(jù)
其優(yōu)點是在不需要對所需壓力或溫度進(jìn)行任何修正的情況下輸送質(zhì)量流量的原理。
總氣流的一小部分被轉(zhuǎn)移到一個小的，專門設(shè)計的
旁路通道，確保層流條件。傳感器元件是
芯片浸沒在這個通道的壁上。芯片包含一個加熱電阻器
以及兩個溫度傳感器（熱電堆），它們對稱地布置在加熱器的上下游。熱電堆的壓差
是通過該旁通通道的質(zhì)量流量的測量值。校準(zhǔn)
程序?qū)崿F(xiàn)傳感器信號對總流量的為一分配
通過設(shè)備的速率。

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