等離子清洗是等離子表面改性的其中較為常見的一種方式，能有效得提高材料表面的達因值，干法清洗，避免使用有害溶劑，綠色環保。
等離子清洗機（plasma cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.
等離子表面活化清洗機，提高材料表面達因值，親水性改善，等離子清洗機對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將材料表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了材料的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
關鍵詞：等離子清洗機

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