氣體流量計/質量控制器質量流量控制器（0-20）氮氣型號:qx05-d07-9e
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1
流量規格
( 0~20,30,50,100,150,200,250) slm
2
準確度
±2 % f.s
3
線性
±1 % f.s
4
重復精度
±0.2 % f.s
5
響應時間
(1 ~ 4) sec
6
工作壓差范圍
20 , 30 slm: (0.05 ~ 0.30) mpa （7.3~43.5 psid）
50,150 slm: (0.10 ~ 0.30) mpa （14.5~43.5 psid）
200,250 slm: (0.15 ~ 0.30) mpa （21.8~43.5 psid）
7
耐壓
3 mpa （435.1 psig）
8
工作環境溫度
5 ℃ ~ 45 ℃
9
輸入輸出信號
0 v ~ +5.00 v
(輸入阻抗大于100k, 輸出電流不大于3ma)
10
電源
+15 v 50 ma
-15v 400 ma
11
外形尺寸
見圖4
12
重量
2.6 kg
0-20slm

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