液晶面板材料用表面缺陷檢測設(shè)備介紹
表面缺陷檢測設(shè)備（一般）
應(yīng)用流傳已久的魔鏡(透光鏡)原理，達(dá)成實(shí)時(shí)檢測鏡面平板基材表面狀態(tài)的裝置。受世界各地的矽晶圓廠所用。
非接觸、非破壞性的檢查，以及免維護(hù)的光學(xué)系統(tǒng)根據(jù)選配，可追加表面缺陷自動判定影像處理軟體、自動化搬運(yùn)裝置、影像儲存、影像列印等功能。
1、即時(shí)顯示所有表面狀態(tài)。
2、光學(xué)系統(tǒng)對應(yīng)等級１
3、學(xué)系統(tǒng)無須維護(hù)。
4、根據(jù)檢測內(nèi)容，可修正檢測靈敏度。
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檢測尺寸
從φ100mm至φ300mm
檢測內(nèi)容
平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
檢測倍率
1x / 3x 模式可切換（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
檢測靈敏度
檢測靈敏度可連續(xù)調(diào)整
使用光源
550nm　（固定照度之穩(wěn)定光源）
鏡頭
高解析度ccd鏡頭
平臺
手動平臺（標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備）
用途鏡面晶圓的表面檢測
滑線檢測
玻璃基板檢測
其他鏡面基板檢測
選配
電動馬達(dá)檢測平移臺
自動判定缺陷影像處理裝置
影像列印機(jī)
搬運(yùn)裝置
關(guān)鍵詞：檢測設(shè)備

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