co2激光管在使用過程中常常由于工作氣體的變化,使其壽命縮短,特別是在諸如激光雕刻、切割時由于激光管的頻繁開關而壽命銳減,這時就需要經常更換激光管,給使用者帶來許多麻煩,大大增加了使用成本。本器主要由、電極、諧振腔、硬質玻璃三部分組成。
1.電極部分:co2激光器一般采用冷陰極,形狀為圓筒形,陰極材料選用對激光器的壽命有很大的影響,對陰極材料的基本要求是:濺射率低,氣體吸收率小,常用的金屬材料為鎳。
2.諧振腔部分:本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學玻璃為基底,表面渡金膜,金膜反射鏡在10.6um附近的反射率達98%以上;諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射10.6um輻射的紅外線材料鍺(ge)為基底,在上面渡上多層介質膜而制成。
3.硬質玻璃部分;本部件由料燒制成放電管、水冷套、儲氣套和回氣管而組成。封離式co2激光器通常為三層套管結構。最里面的是放電管,中間是水凈套,最外一層是儲氣套,回氣管是用于連通放電管和儲氣管。
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