近年來,隨著電子設備不斷向輕、薄發展,所使用的零部件也在不斷變小,隨之而來,需要能夠觀察和解析這些高性能零部件的機器。島津xslicersmx-6010(圖1),就是能夠對產品及零部件內部進行非破壞檢查的設備。這款設備的標配中的傾斜ct(以下簡稱pct),通過對雙面實裝基板進行斷層掃描,獲得ct圖像,可以觀察到焊接面的孔隙和內層布線情況。但是,pct雖然可以得到平面斷層像,但由于厚度方向數據受到限制,所以無法獲得完全的3d圖像。在此基礎上,島津開發了xslicersmx-6010用的豎直ct單元(以下簡稱vct)。該機器的特點:既能夠拍攝pct,又可選配vct。
關于xslicersmx-6010的ct功能
xslicersmx-6010搭載了1微米的超微小焦點x射線管球和300萬像素的高分辨率平板探測器,通過島津獨立開發的hdr(高動態范圍)處理,可以取得高精細且更清晰的透視圖像。pct使檢測器傾斜45度或60度,旋轉360度,可獲得平面斷層圖像(圖2左)。
通常在ct攝影中,為了使工件旋轉軸與x射線照射方向垂直,為了工件不碰撞到x射線源,需要降低圖像放大率,但pct是水平放置工件進行攝影,更適合拍攝板狀工件。
圖2 pct和vct掃描方式的差異
由于接收器以規定的角度旋轉,雖然可以得到水平方向的斷面圖像,但是重建所需的部分信息會缺失,特別是厚度方向的斷面圖像上會出現虛像(偽影),在三維顯示的情況下可能與實際形狀不符。vct是工件的旋轉軸與x射線照射方向垂直,因此可獲得完整的數據(圖3)。但是,如果工件是平板形狀,為避免旋轉時工件碰撞到射線源,所以必須降低放大率。
圖3 pct和vct圖像的區別
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