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【干貨】詳解TOF-MS探測器MCP的5個重要參數

mcp(微通道板)是一種平面二維探測器,可以在真空條件中探測電子、離子、真空紫外線、x射線和伽瑪射線,并能放大探測的信號。重要的特點是快速達到低于納秒的響應時間,對于飛行時間質譜(tof-ms)來說是非常理想的探測器。
濱松mcp產品
在質譜應用中,樣品經過電離源生成離子,經過質量分析器后,不同荷質比(m/z,即電荷/分子量)的離子被區分開來并在真空中飛向mcp,最終被mcp所探測。
mcp在tof-ms中的使用示意圖
本文將就mcp的基本原理,重要參數和簡單選型問題,進行解讀。以幫助儀器開發中,對mcp產品更好的理解、選擇和使用。
什么是mcp?
微通道板(microchannel plate,一般簡稱 mcp)可以被用于檢測電子、離子、高能粒子、中子、紫外線、x射線等各種粒子和能量較高的電磁波。是由大量中空的毛細管(微通道)二維排列而成的片狀結構(見圖1-a,b)。
微通道的內壁經過處理,使得粒子轟擊時能夠產生二次電子。使用中mcp兩端被加上電壓,在微通道內部形成電場,粒子轟擊產生的二次電子會被電場加速,再次轟擊微通道內部產生更多的二次電子(如圖1-c)。這個過程在同一微通道中重復多次,最終在出口端輸出大量的電子(稱為倍增電子)。
mcp最終輸出的倍增電子和入射粒子的數量之比稱為mcp的增益,一般單片mcp的增益在103左右。
圖1. mcp結構與基本原理
mcp的尺寸一般在10-100mm量級,厚度在0.5-1mm量級,微通道直徑在10um左右
mcp輸出的倍增電子一般有三種讀出方式:單陽極讀出、多陽極讀出與熒光屏讀出。濱松不僅能夠提供mcp裸片,還可以提供模塊產品對應各種信號讀出方式與要求。
· 單陽極讀出模塊:所有mcp輸出的倍增電子被同一個陽極接收轉化為電信號。此類模塊相當于一個點探測器,常被用做質譜探測器;
· 多陽極讀出模塊:mcp不同位置所輸出的倍增電子對應著不同的陽極,讓此類模塊具有了位置區分的能力,可被用于化學分析用電子能譜(esca)等應用中。多陽極可以呈線性排列,也可以成二維排列(如圖2)。陽極間距(anode pitch)可以為3mm或以上;
· 熒光屏讀出模塊:熒光屏可以將mcp輸出的電子轉化為可見光。與單片mcp聯用時分辨率能達到40-50um;與兩片mcp聯用時分辨率能夠做到80-100um。根據需求不同(如輸出的可見光顏色、熒光衰減時間、響應時間等),可以選擇不同的熒光屏。
圖2. mcp讀出模塊示意:(a)單陽極讀出;(b)多陽極讀出;(c)熒光屏讀出
5個重要參數解析
作為一類探測器,mcp的探測下限、探測上限與線性范圍、響應速度、壽命及使用環境都是經常被關注的特征。另外,對于熒光屏輸出的mcp模塊,空間分辨率也非常重要。接下來,我們就將從這些特征入手,進行解析。
探測下限
探測下限的核心是整個探測體系的信噪比。
圖4. mcp信噪比的相關參數
為了擁有更好的探測下限,可以從以下三個方面入手:
提高探測效率;
降低噪聲,尤其是能被增益放大的噪聲;
提升增益。
1、探測效率
在mcp對弱信號進行探測時,越大比例的待測信號能被接收并轟擊出二次電子(即探測效率越高),也就意味著能更好地“利用”待測信號,探測下限也就越低。
不同的粒子/電磁波在mcp中的探測效率并不一樣(如表1),所以提升mcp探測效率的個策略是先將探測效率低的粒子/電磁波轉換為探測效率高的粒子(如電子)。
例如,(a)mcp對vuv的探測效率較低,在vuv探測中,可在mcp入口端鍍上csi等光電轉換材料將vuv轉換為電子;(b)mcp對可見光幾乎無響應,在極弱可見光探測的像增強器中,可通過gaas等光電材料將可見光轉化為電子。
表1. mcp對各種粒子/電磁波的探測效率
第二個提升探測效率的策略,是讓更大比例的入射粒子成功轟擊出二次電子。具體辦法有二:
# 增加開口率(open area ratio,oar)
開口率指“mcp表面微通道開口面積 / 整個mcp有效面積”。開口率越高,mcp的探測效率也越高。一般普通mcp的開口率為60%,而濱松研發的漏斗形(funnel type)開口的mcp,開口率可達90%(如圖5,實際對比如圖6)。
圖5. mcp的開口率與偏角
圖6. 不同oar的mcp在探測效率上的對比
樣品為小分子蛋白質,探測體系為maldi-tof
# 選擇合適的偏角(bias angle)
偏角指微通道與mcp表面的法線之間所成的角度,為的是讓粒子有更大的概率轟擊到微通道的內壁上(如圖5)。
但偏角并非越大越好,以電子為例,在打入微通道內壁后產生二次電子,產生二次電子的位置和偏角相關。如果偏角太大,使得電子入射后產生二次電子的位置較深,容易造成二次電子的逸出減少;如果偏角太小,又會導致沒有足夠的二次電子激發。mcp的偏角一般為8°~ 12°。
2、噪聲
在mcp所涉及的探測系統中,噪聲可以分成mcp本身的噪聲,以及讀出端的噪聲。
mcp本身的噪聲是比較低的,在電壓1000v時,單片mcp的暗電流低于0.5pa/cm2。作為對比,光電倍增管(pmt)是以信噪比高而著稱的探測器,濱松r928側窗光電倍增管的感光面積為8mm x 24mm = 1.92 cm2,其暗噪聲的典型值為3na,折合約1500pa/cm2。
mcp在使用中主要需要考慮的噪聲來源是離子反饋(ion feedback,具體機理見圖7)。雖然mcp工作在真空中,但總是不可避免的有殘余氣體分子。當mcp輸出的倍增電子和殘余氣體分子碰撞時,會產生正離子。這些正離子在電場中會與倍增電子呈反向運動,再次轟擊微通道內壁產生電子,這個過程就稱為離子反饋。由于正離子反向運動是需要時間的,所以離子反饋所產生的信號與真實信號本身并不會疊加,反而成為了噪聲/雜峰的重要來源。
所以真空度不夠時,殘余氣體分子過多會在實際使用中帶來額外的噪聲,這是特別需要注意的。就濱松的mcp產品而言,建議工作在1.3x10-4pa以下。不過,濱松也將在近期發布能夠工作在低真空度(至1pa)下的mcp模塊,敬請關注。
圖7. 離子反饋示意圖
3、增益
由于mcp本身的噪聲很低,所以讀出端引入的噪聲(主要是不能被mcp增益放大的噪聲,參考圖4中公式)會影響較大。具體說來,無論是單陽極輸出方式中的讀出電路,還是熒光屏輸出方式中的熒光屏+相機,都會引入額外的噪聲。
所以在檢測弱信號的時候,mcp采用更高的增益不僅是放大了信號,產生了更多的倍增電子,還能讓整個系統得到更好的信噪比。
mcp的增益主要與縱橫比(α,aspect ratio)和電壓相關。縱橫比指微通道的長度與直徑的比值(如圖8);電壓特指加在mcp兩端的電壓(如圖1-c中所示的電壓)。如圖8所示,縱橫比越大,mcp所能提供的增益越大;同一片mcp上所加的電壓越大,增益越大。
圖8. mcp的增益與電壓、縱橫比之間的關系
對于單片的mcp,當增益大于104的時候,mcp射出的倍增電子量變大,離子反饋所產生的噪聲就很大了;所以一般不會用太高的縱橫比(一般40-60,這樣給1kv電壓的時候就能做到104的增益)。
如果應用中需要更高的增益,通常會把2-3片mcp疊在一起,并讓前后mcp的偏角反過來(如圖9),這樣的反角設計,可讓反饋離子難以進入級mcp,有效減弱離子反饋,提升信噪比。如圖9所示,2-3片mcp疊在一起的增益會比較高。實際使用中,見的是將兩片mcp疊在一起獲得約106以上的增益。
圖9. 2-3片mcp疊在一起的使用方案及效果
綜上所述,只要在要求的高真空環境下,mcp本身的噪音是非常低的。如果特別關注弱信號的檢測,在選型和使用時主要可以考慮:
1)選用大開口率(oar)的型號,保障高探測效率;
2)適當采用較高的電壓,以及選擇2-3片mcp疊起來使用以獲得更高的增益,間接壓制讀出端的噪音,降低信號讀出的難度。
線性范圍與探測上限
線性范圍取決于探測上限與探測下限的差值。如果一個手段(例如降低增益)既提升了探測上限,也提升了探測下限,其往往不能提升動態范圍。由于mcp的探測下限與增益息息相關(參見上節),所以當希望mcp具有較大線性范圍的時候,一般主要考慮如何在不影響增益的情況下提升探測上限。
圖10. mcp探測上限與探測下限的參數解析
mcp探測上限相關的主要參數稱為線性輸出電流(maximumlinear current),其數值一般為3-5ua。
當mcp的輸出電子變多時,mcp內壁會因為大量的二次電子發射而帶電,這會影響電場分布削弱接下來的倍增過程。mcp內壁所帶的電荷會被帶電流(strip current,參考圖1-c)所中和。但是由于mcp較高的等效內阻(一般在100-1000mω),帶電流通常會比較小,這就導致倍增電子過多時,在微通道壁上殘余的電荷不能及時被中和,影響mcp內的電場分布并最終導致增益下降——此時mcp對于信號離子的響應也就不再是線性的了。
由于mcp的線性輸出電流與帶電流的大小相關,所以線性輸出電流有時會標注為帶電流的百分比,如“7% of strip current”。
以上述原理為基礎,為了增加線性輸出電流,得到更大的線性范圍,個策略是采用較低等效內阻(如濱松f6584所采用的2-30mω)的mcp;同樣的電壓下,更低的電阻可以得到更大的帶電流(strip current),從而提升線性輸出以及線性范圍(如圖11)。
圖11. 低電阻mcp所具有的大線性范圍和高線性輸出
此外,濱松還提供了第二條策略,將一片mcp和一片雪崩二極管(avalanche diode)聯用(“mcp+ad”模塊),從而得到較高的線性范圍和線性輸出。
在這種組合下,整個模塊的增益依然有106左右,與兩片mcp聯用的增益類似——即探測下限不差。但是在mcp部分的增益只有1000-10000,相比兩片mcp聯用的106是小了2-3個數量級的,這意味著倍增電子也很少,在達到mcp的線性輸出電流前能夠接受更多的待測粒子——即探測上限很高。所以“mcp+ad”模塊能夠得到遠超傳統mcp模塊的線性范圍和探測上限。
從參數上看,mcp+ad模塊的線性輸出電流高達230ua,遠高于mcp的3-5ua。同時,由于mcp+ad模塊中mcp部分的倍增電子會少于兩片mcp聯用的情況,整個模塊的壽命也得到了延長。
圖12. 濱松mcp+ad模塊示意
綜上所述,如果希望mcp的探測系統具有較大的線性范圍,主要可以考慮:
1)選用電阻較低的型號,如濱松f6584;
2)選用mcp+ad模塊產品。
響應速度
當一個待測粒子轟擊出二次電子,并反復倍增的過程中,每一個倍增電子的飛行路徑是不相同的,所以電子到達陽極的時間(以單陽極讀出的mcp模塊為例)有先有后,這使信號具有一定的峰寬。隨著總飛行距離的增長,各倍增電子間的飛行距離也會差別越來越大,如采用單陽極讀出的mcp模塊時,就能很明顯地看到信號峰變寬,信號的上升時間變長。
但總的來說,mcp的響應速度是很快的,上升時間通常在0.3-1.5ns。而另一類粒子探測器——電子倍增器的上升時間通常為1-5ns。
mcp的響應速度主要與微通道的長度有關,長度越長,電子在其中的飛行距離越遠,信號的上升時間就越長。
由于mcp的增益不單取決于微通道的長度,而是取決于縱橫比(等于微通道的長度/直徑),所以提升響應速度的條策略是讓mcp微通道的長度和直徑等比例縮小,這樣既可以增加響應速度,同時也不減弱增益(如濱松f4655-13)。
圖13. 增加mcp響應速度的策略
等比例縮小mcp微通道的長度和直徑
除了mcp微通道長度,倍增電子從mcp出口飛向陽極或熒光屏也是分布在一定角度之內的。垂直飛向陽極的電子和以一定角度飛向陽極的電子,其到達陽極的時間也不一樣,所以提升響應速度的第二條策略是在mcp出口和陽極之間加入額外的網狀電極,對倍增電子的飛行路徑進行校正,使其飛行距離更為相近。
圖14. 增加mcp響應速度的策略
校正倍增電子的飛行路徑
空間分辨率
當mcp和熒光屏聯用的時候,空間分辨率也是一個非常重要的參數。單片mcp與熒光屏聯用時分辨率能達到40-50um;兩片mcp疊用時分辨率一般能夠做到80-100um。
用兩級mcp會比用一級mcp的分辨率下降,因為:(1)從級mcp中的一個微通道出來的電子可能會進入第二級mcp的幾個通道中;(2)兩級mcp輸出的倍增電子會更多,電子之間互斥會導致出射角度變大,降低分辨率(如圖15)。
為了增加空間分辨率,可以考慮:
1)縮短mcp和熒光屏之間的距離,雖然電子之間互斥會導致微通道中的電子出射角度變大,但縮短距離可以削弱其對于空間分辨率的影響;
2)增加mcp和熒光屏間的加速電壓。
圖15. mcp與熒光屏聯用時的空間分辨率影響因素
壽命和使用環境
mcp的壽命和從mcp中總的出射的電子數量是相關的,所以mcp的壽命用電量表示。一般mcp的壽命在10c(庫倫)或以上。作為對比,同為粒子探測器的電子倍增器其壽命僅為0.3c(總電荷數量)。
此外,在同一電壓下,mcp的增益會隨著使用而下降,所以在信號不太弱的時候,濱松建議對于一片新的mcp可以將電壓調得比參數表上的電壓更低一些,這樣從mcp出射的倍增電子不會那么多,有利于延長mcp的壽命。而且隨著使用,可以通過逐漸增加mcp上的電壓,以維持穩定的增益。
在mcp的使用環境上,一般需要關注以下兩個參數:
# 磁場
mcp對磁場的敏感程度不及pmt和電子倍增器。但磁場對mcp也是有影響的,尤其是與微通道垂直的磁場。如果mcp一定要在磁場環境中使用,盡量讓磁場與微通道的長軸平行。選擇合適的mcp以及合適的方位,能讓mcp在2t的磁場下正常工作。
# 真空度
普通的mcp對真空度有著較高的要求,需要工作在1.3x10-4pa以下。在低真空度(即氣壓較高時)下,較多的氣體分子會被轟擊成正離子,不僅會以離子反饋的原理導致高噪聲(如圖7),這些額外的倍增電子(實際上是噪聲)也將降低mcp的壽命。
但對于一些特別的應用,真空度無法維持在很高的狀態。針對這種情況,濱松也特別開發了能夠工作在1pa真空度下的mcp模塊(gen3 三級結構mcp),新品即將推出。
mcp的選型參考
包括mcp在內,濱松有多種粒子探測器。相對而言,mcp具有以下優勢:
1)mcp的探測面積較大,一般從10mm到100mm不等,其中包含了數以百萬計的微通道;
2)一個微通道的壽命中止并不影響整體的使用,所以mcp的壽命大大優于em和cem(反映為積累電荷壽命較大);
3)由于mcp中微通道的長度比較短,電子在其中的飛行距離較短,所以mcp的時間響應比em和cem要更快一些。(反映為上升時間較短)。
不過,mcp也有自己的短板,如較窄的動態范圍(反應為輸出電流)。這可以理解為mcp中打拿級之間的電勢差較小,到增益的最后,已經無力驅動太多電子,導致輸出電流具有較低的天花板。為了解決這個問題,濱松研發了mcp+ad模塊(可以參見上文的介紹)。
此外,針對真空度要求較高的特征,濱松即將推出的gen3 三級結構mcp也將很大程度解決這個問題。
表2.各類粒子探測器的對比
以上就是我們關于mcp介紹的全部內容了,如果還想了解更多關于mcp的產品、技術、使用等信息,敬請聯系濱松工程師。接下來,濱松將陸續推出多款mcp新品(上文有提到過),也請大家繼續關注。

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