低溫等離子設備清洗處理sers活性金島膜表面雜質研究：
真空蒸鍍法在硅片表面形成了一層具有表面增強拉曼活性的金島膜。拉曼光譜發現該金島膜表面存在非晶態碳的污染物。通過比較不同低溫等離子設備清洗方法的拉曼光譜可以證明，用氧氣等離子體清洗金島膜可有效去除金表面的雜質，金島膜的表面增強拉曼活性在清洗前后沒有發生明顯變化。
拉曼光譜可以提供分子內部各種簡正振動頻率及有關振動能級的情況，是研究物質分子結構的有效手段。其很大的優點是對于樣品制備沒有任何特殊要求，可以在溶液狀態下對樣品進行測量。
表面增強拉曼光譜(sers)是拉曼光譜和表面增強現象相結合的一種分析技術。這種低溫等離子設備技術的出現，使拉曼光譜檢測靈敏度大大增加，甚至達到了單分子檢測的水平。
目前sers已廣泛應用于材料科學、表面科學、生物醫學等領域，是當今靈敏的研究表/界面反應的譜學技術之一。
制備出具有納米級粗糙度的金屬表面是獲得sers效應的首要條件。目前，人們主要在金屬溶膠、金屬島膜和粗糙化的金屬電極表面來開展sers研究中。
金屬島膜的制備方法主要是低溫等離子設備真空蒸鍍法。該方法具有制備條件可準確控制，設備比較簡單、易操作等優點。主要的缺點之一是制備出的金屬島膜表面存在污染現象。
由于制備過程中低溫等離子設備真空室內存在少量的有機物雜質，這些雜質往往會吸附在基底表面，導致所獲譜圖中存在強而寬的特征峰，有時可嚴重干擾被測分子的真實信號。
許多研究人員已經認識到了這個問題，并進行了多種嘗試來去除sers基底的表面雜質。
用吸附能力較強的cn~來除去被污染的銀表面層的方法;用烷烴硫醇來對金屬表面的污染物進行替換吸附;選取cl i來排除銀顆粒表面的雜質;化學吸附碘離子結合電化學氧化的除雜方式;先用低溫等離子設備等離子體清洗，再用醋酸浸泡的方法對自組裝的金顆粒表面除雜等。
可見，針對不同的sers基底和實驗條件，除雜的方法也不盡相同。氧氣低溫等離子設備等離子體清洗的原理是通過氧自由基與基底表面的有機污染物反應生成二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物，再由真空泵吸走這些揮發性的物質。
在硅片表面真空蒸鍍上了一層金島膜。該島膜具有較好的表面增強效應，對砒啶分子的增強因子為10。通過氧氣離子體清洗去除了金島膜表面污染，光譜測試表明清洗前后金島膜的表面增強特性沒有顯著改變。
氧氣低溫等離子設備等離子體清洗可以將真空蒸鍍形成的金島膜表面存在的大部分非晶碳雜質除去;清洗后的基底可以較好地保留對其它分子sers活性;清洗后sers信號衰減較少。因此，氧氣等離子體清洗是金島膜表面除雜的有效途徑。

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