日本ulvac cfb-1600f風冷復合分子泵一、產(chǎn)品簡介
cfb-f系列風冷復合分子泵的性能與復合分子泵一樣,適用于沒有水源且環(huán)境溫度不高的地方,或經(jīng)常移動的排氣機組等。
日本ulvac cfb-1600f風冷復合分子泵二、產(chǎn)品特點
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ulvac cfb-1600f風冷復合分子泵三、主要性能指標
型號
cfb-1600f
訂貨號
3167
3168
進氣口法蘭
—
lf250
cf250
排氣口法蘭
—
kf50
抽氣速率
l/s
1600
壓縮比n2/h2
—
1×109/1×104
極限壓強
pa
5×10-7
8×10-8
電機轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動時間
min
<6
振動值
μm
≤0.15
前極泵
l/s
15
冷卻方式
—
風冷(環(huán)境溫度<37℃)
泵體烘烤溫度
℃
<120
加熱器功率
w
<700
加熱器輸入電壓
v
ac220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
~39
四、特性曲線及安裝尺寸
cfb系列風冷復合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格
cfb-1600f
高真空法蘭
lf250
cf250
d1
ф290
ф305
d2
ф296
ф296
d3
□183.8
□183.8
l1
161
161
l2
166
166
h1
467
467
h2
70
70
h3
185.5
185.5
h4
153
153
泵腿螺釘孔
4-m8
4-m8
關鍵詞:加熱器
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日本ULVAC CFB-1600F風冷復合分子泵技術資料
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