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監(jiān)控半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中離子污染的神器——ICS 6000離子色譜

監(jiān)控半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中離子污染的神器——ics 6000離子色譜 關(guān)注我們,更多干貨和驚喜好禮
2020 · 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
2020年注定是不平凡的一年,不僅僅是*的肆虐,也因為國內(nèi)外貿(mào)易爭端加劇,對某些中國企業(yè)是一大挑戰(zhàn),同時也是一大機遇,將刺激我國對于芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重視,同時賽默飛也將致力于幫助客戶解決當(dāng)中遇到的問題。
集成電路(intergrated circuit)又稱芯片,是一種微型電子器件,是把電路(包括半導(dǎo)體裝置、元件)小型化、并制造在半導(dǎo)體晶圓表面上形成的具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)。
在半導(dǎo)體行業(yè)中對離子的污染非常敏感

超過80%的制作工序都需要用到純水,對于不同級別的生產(chǎn)線而言,對純水的質(zhì)量要求也不盡相同,限度跨度從ppt—ppb。
astm d5127-13 standard guide for ultra-pure water used in the electronics and semiconductor industries
同時芯片的生產(chǎn)過程中會使用到很多試劑,如硫酸、氨水等,而這些試劑揮發(fā)到空氣中會對芯片造成晶體缺陷、霧狀缺陷等,因此:
監(jiān)控環(huán)境空氣和超純水中離子的含量是非常必要的
你知道嗎
那么大家知道,空氣中與超純水中的雜質(zhì)離子含量這么低,通過什么手段實現(xiàn)檢測呢?賽默飛離子色譜ics-6000選配am模塊通過大體積濃縮進樣,可輕松實現(xiàn)如上要求,*可以達到芯片生產(chǎn)過程中對環(huán)境與水的控制。
ics 6000雙系統(tǒng),直接進樣分析,可同時在線檢測超純水中痕量(>50ppt)陰陽離子。
ics 6000雙系統(tǒng)
直接進樣流路圖
1配置as-hv以后的ics 6000
可實現(xiàn)大體積濃縮進樣,從而進一步提高靈敏度降低檢出限(<20ppt),通過大定量環(huán)進樣品,小定量環(huán)進標(biāo)準(zhǔn)品,也大大降低了痕量分析的操作門檻。
ics 6000配備as-hv
大小環(huán)進樣流路圖
2可選配ic pure在線純水機
在線制備離子色譜分析過程中所需超純水,從而給淋洗液提供更純的水源。
ic pure在線純水機
3配備空氣采樣器
由真空泵以恒定流速抽取環(huán)境空氣,超純水吸收空氣中陰陽離子后上離子色譜檢測。根據(jù)抽取時間與流速從而計算抽取空氣體積,得出空氣中離子含量。
空氣采樣器
那么實際效果如何呢?請看如下兩張譜圖:
常規(guī)陰離子譜圖(1-10ppt)
常規(guī)陽離子譜圖(20ppt)
賽默飛離子色譜全流程解決方案
ics 6000高壓離子色譜
ics-6000高壓離子色譜是一款可實現(xiàn)陰陽離子同時分析的高壓離子色譜系統(tǒng),高壓梯度提供了高分離度與高重復(fù)性。同時配有賽默飛*耐高壓viper管線,*的力矩設(shè)計,無需輔助工具,手動自如實現(xiàn)裝卸,簡單方便。
耗材監(jiān)控識別功能
自動識別并追蹤 ic 耗材的安裝時間、使用情況和性能指標(biāo)。其可防止耗材安裝錯誤,安排預(yù)防性維護時間,管理耗材使用情況,可同時監(jiān)測多達 25 種不同耗材的 16 余項關(guān)鍵性能指標(biāo)。從而可以根據(jù)產(chǎn)品性能指標(biāo)和生產(chǎn)質(zhì)量保證數(shù)據(jù)驗證耗材的性能。
淋洗液自動發(fā)生器
ics-6000 配備rfic-eg(淋洗液自動發(fā)生器),淋洗液發(fā)生灌以的濃度電解生成高純度氫氧化鉀(koh)或甲磺酸(msa)淋洗液。該設(shè)備的淋洗液與再生液僅要求使用高純度去離子水即可,從而實現(xiàn)零系統(tǒng)空白。同時rfic-eg 模塊可控制等度或梯度條件,提供*的方法重現(xiàn)性和準(zhǔn)確度。
dc溫控
ics-6000溫控系統(tǒng)分為上下兩部分且可單獨控溫,上部分控制檢測單元,下部分控制進樣閥與色譜柱,溫度全部覆蓋,穩(wěn)定性更佳。
ics 6000 dc模塊
自 1975 年以來,我們一直致力于離子色譜(ic)技術(shù)的開發(fā)與創(chuàng)新,包括儀器、化學(xué)分離、抑制器和軟件。作為業(yè)界,我們通過分享已知信息努力為您的實驗室提供支持,充當(dāng)值得信賴的顧問,并提供您所需要的服務(wù)和支持。我們所做的一切支持并認(rèn)可您和您的使命,確保世界更健康、更清潔、更安全。
thermo scientific™ dionex™ ics-6000 離子色譜儀
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