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日本精密對位平臺工作原理

精密對位平臺包括對位模塊固定板、移動板、x方向移動裝置、第1y方向移動裝置、第2y方向移動裝置,x方向移動裝置、第1y左右方向移動裝置、第2y方向移動裝置分別與該移動板對應對位模塊固定板、及 包括設置在該定位模塊固定板上的x方向動力裝置、第1y方向動力裝置和第2y方向動力裝置,x方向動力裝置使x方向移動裝置沿x方向往復運動,x方向移動裝置使該運動板沿x方向往復位移,第1y方向動力裝置使第1y方向移動裝置沿y方向往復運動, 第1y方向移動裝置使該運動板在y方向往復位移,第2y方向動力裝置使第2y方向移動裝置在y方向往復移動,第2y方向移動裝置使該運動板在y方向往復位移。
x方向移動裝置包括經由軸承可動地連結x方向移動板,在x方向移動板的下端面,在上方設有沿著對準模塊固定板上的固定板滑槽往復移動的滑軌、和沿著該滑槽往復移動的滑軌。
y方向移動裝置包括經由軸承可移動地連結y方向移動板,在y方向移動板的下端面,在上方設有沿著對準模塊固定板上的第二固定板滑動槽往復移動的滑動軌道、和沿著該滑動槽往復移動的滑動軌道。
第二y方向移動裝置具備經由軸承可移動地連結第二y方向移動板,在第二y方向移動板的下端面,在上方設有沿著對準模塊固定板上的第三固定板滑動槽往復移動的滑動軌道、和沿著該滑動槽往復移動的滑動軌道。
x方向動力裝置包括電機和固定連接于該電機的偏心輪,該偏心輪與x方向移動板之間由彈簧連接,消除了該偏心輪與x方向移動板之間的間隙。
y方向動力裝置包括電機和固定連接在該電機上的偏心輪,該偏心輪與y方向移動板之間通過彈簧連接,該彈簧消除偏心輪與y方向移動板之間的間隙。
第二y方向動力裝置包括電動機和固定連接在該電動機上的偏心輪,該偏心輪與第二y方向移動板之間通過彈簧連接,該彈簧消除偏心輪與第二y方向移動板之間的間隙。

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