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小型ECR原子/自由基束源(ERS-35)技術解析及應用前景

摘要:小型ecr原子/自由基束源(ers-35)是一種適用于mbe等超高真空設備的先進束源。本文將介紹其特點和設備規(guī)格,并重點探討其在mbe設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等應用領域的潛力。
介紹:ers-35采用了電子回旋共振放電技術,可在超高真空環(huán)境下提供穩(wěn)定的原子束或自由基束,廣泛應用于分子束外延(mbe)和其他超高真空設備中。其具備以下特點:
wanquan金屬密封:ers-35與超高真空設備兼容,采用wanquan金屬密封設計,確保在真空環(huán)境中穩(wěn)定工作,避免任何氣體泄漏和污染。
易于操作的同軸電纜電源:ers-35配備了易于操作的同軸電纜電源,簡化了功率供應的連接和控制,提高了設備的可操作性和穩(wěn)定性。
無金屬污染的介電襯里:為了確保高純度的束流輸出,ers-35采用無金屬污染的介電襯里,有效減少了雜質的產生和污染的風險。
帶偏壓電極的介電引出柵:ers-35的介電引出柵設計了帶偏壓電極,擅長產生自由基束。這種設計允許束源輸出具有高度定向性和可調控性的自由基束。
設備規(guī)格:
連接真空端口標準:icf70,與常見的超高真空設備接口標準兼容。
同軸連接器標準:n型,便于與其他設備進行連接和集成。
適用微波頻率:2.45ghz,與常用工業(yè)微波設備兼容。
允許微波功率:最大100w,提供充足的能量供應。
冷卻方式:水冷,確保設備在長時間運行中保持合適的溫度。
應用實例:
mbe設備用氮/氧自由基源:ers-35能夠產生穩(wěn)定而高純度的氮或氧自由基束,可用于分子束外延(mbe)中的材料沉積和氣相外延生長,實現精確的薄膜和納米結構的控制。
表面清洗用原子氫源:ers-35的原子束輸出適用于表面清洗和表面修飾應用。氫原子束可以高效地清除表面的雜質和氧化物,并恢復材料的純凈度和特性。
結論:小型ecr原子/自由基束源(ers-35)通過其wanquan金屬密封、易操作的同軸電纜電源和帶偏壓電極的介電引出柵等特點,廣泛應用于mbe設備用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氫源等領域。隨著技術的進一步發(fā)展,ers-35將為超高真空設備的研究和應用提供更多創(chuàng)新的可能性。
關鍵詞:同軸電纜

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