準分子照射裝置應用實例
光掩模檢查前的中和
晶圓靜電消除（防止電路損壞）
玻璃表面有機物去除（干洗）
涂裝前表面改性（提高附著力）
鍍前表面改性（精細鍍層滲透）
電子基板的預貼合處理（提高附著力）
什么是準分子燈？
準分子燈是一種可以照射真空紫外光的光源，其發光原理和結構與傳統的放電燈（汞燈、氙燈等）不同。
準分子燈產生波長為172 nm的真空紫外光（vuv），其光子能量比傳統光清潔和改性中使用的汞燈（波長為185 nm和254 nm）更高。
它可以立即打開和關閉，不需要空轉。
扁平型
半導體 qef-300spc qef-230spc qef-160 qef-100 qef-35st qef-35st-v126
波長 172納米 126納米
公用事業 氮氣/冷卻水/ac100-240v
分配 ±5% ±7%
照射孔徑 φ332mm 218×218毫米 167×167毫米 φ100mm φ35mm φ35mm
兼容的工作尺寸 12英寸 8英寸 6寸 4英寸 – –
照度（最大窗口表面） 80毫瓦/平方厘米 80毫瓦/平方厘米 30毫瓦/平方厘米 30毫瓦/平方厘米 5毫瓦/平方厘米 5毫瓦/平方厘米
平面顯示器 qef-1600 qef-600 qef-320
波長 172納米
公用事業 氮氣/冷卻水/ac100-240v
分配 ±10%
照射孔徑 70×1570毫米 70×620毫米 70×312毫米
兼容的工作尺寸 g6 g3 –
照度（最大管面） 180毫瓦/平方厘米 180毫瓦/平方厘米 100毫瓦/平方厘米
管型
半導體 qev-360 qev-230 qev-160
波長 172納米
公用事業 氮氣/冷卻水/ac100-240v
分配 ±15%
照射孔徑 340×340毫米 216×216毫米 176×176毫米
兼容的工作尺寸 12英寸 8英寸 6寸
照度（最大窗口表面） 15毫瓦/平方厘米
平面顯示器 qev-1200 qev-850 qev-750 qev-150
波長 172納米
公用事業 氮氣/冷卻水/ac100-240v 氮氣/ac100~240v
分配 ±15%
照射孔徑 25×1200毫米 25×850毫米 25×750毫米 25×172毫米
兼容的工作尺寸 寬度1200mm 寬度850毫米 寬度750毫米 寬度150毫米
照度（最大管面） 50毫瓦/平方厘米

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