超精密氣浮臺是基于靜態氣動軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺座外殼對應的負形連接。定子采用內節流原理安裝，氣動分布通道系統與噴嘴組合。轉子定子與轉子在定壓和負載下沒有接觸?？捎糜趫A度測量系統、中心偏差測量系統和粗糙度測量系統。
超精密氣浮臺基本特性
超精密氣浮臺載重能力強，重復精度高；無限的使用壽命；無塵室應用環境；不滑行動作；不磨損，不調整。
技術指標：
轉動精確度(徑向和軸向跳動)。玻璃纖維編碼器：相對定位精度。有兩個版本的空氣軸承轉盤：轉盤，有角編碼器，連轉盤旋轉均勻，無角度位置控制。
可以根據應用程序使用其他驅動器：
帶子傳動采用dc高精度齒輪裝置，高精度定位，轉速每分鐘可達3轉；dc驅動，dc驅動采用dc無刷力矩電機，轉速在0.2-200rpm之間；全部轉盤都是水平或垂直的。該設備配置精密地支撐板和帶有螺紋孔的螺紋孔來夾住螺母或t型槽(可供選擇)。
選擇：
平傾調節裝置；吸附器；電子旋轉控制裝置；
高分辨角編碼器；
巖石基礎，帶有減震元件，
氣體過濾器系統
以上就是小編為大家介紹的全部內容，看完這篇文章相信大家應該有所了解了。
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