殺菌紫外線輻射在uv-c區向更深處移動殺菌紫外線照射是一種殺菌方法，它使用uv-c區(100納米至400納米)的短波長光來分解微生物，如病毒、細菌、酵母和真菌。最常見的是使用發射波長為254納米的低壓汞燈，最近開始使用發射波長為265納米至290納米的紫外發光二極管。然而，這些常規uvc光源的廣泛使用受到一定限制，因為它們具有強烈的致癌和致白內障作用。
遠-uvc光，例如由kr-cl準分子燈產生的222 nm的光，已經顯示出能有效地滅活細菌，但是對人類的光生物學危害較小。這是因為遠uvc光不能像更長波長的uv輻射那樣穿透人類皮膚或眼睛。
為確保任何uvc光源的殺菌效果，必須檢查紫外線劑量。這是通過使用紫外輻射計測量暴露位置的紫外輻照度來實現的。對于要測量的紫外線源的類型，輻射計被適當地校準是很重要的。

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