潔凈室等級標準及氣流形式凈化的定義
凈化（潔凈）技術及玷污（微玷污）控制技術，上常用玷污控制一詞，即對加工或處理對象在加工處理過程中由于玷污物質的存在，影響對象的成功率，而對到達對象表面的玷污物質進行控制后，能提高對象的成功率，此有效控制玷污物質（亦包括加工或處理對象帶有對人體有害的玷污物質需進行處理及隔離）的技術。
潔凈室等級標準（美國聯邦標準209e）
等級 >=0.5um塵粒數 >=5um塵粒數
顆/立方英尺 顆/立方米 顆/立方英尺 顆/立方米
100 100 3,500 / /
1,000 1,000 35,000 7 250
10,000 10,000 350,000 70 2,500
100,000 100,000 3,500,000 700 25,000
潔凈室氣流形式及其特點
氣流形式 適用潔凈級別 優點 缺點
垂直層流底回風 10級,100級 1 效果很*
2 運轉即成穩定狀態
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易 1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高
垂直層流側回風 10級,100級 1 效果*
2 運轉即成穩定狀態
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易 1 設備造價非常高
2 擴展比較困難
3 維護費用高
混流方式 100級,1000級 1 結構比較簡單
2 效果較好 1 造價較高
2 運行,維護費較高
亂流方式 1000級,
10000級,
100000級 1 結構簡單
2 造價低
3 擴展方便 1 易產生渦流
2 不易管理

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