結合高溫真空氣氛爐的實驗工藝要求進行的操作過程高溫真空氣氛爐的操作規程詳解
1．打開高溫真空氣氛爐爐門取出隔熱屏，放入處理物品于高溫區內，再將隔熱屏放好，關閉爐門鎖緊，并關好所有閥門。
2．接通氣氛管式爐電源，打開循環水。
3．高溫真空氣氛爐操作使用方法：
①開機械泵，開真空閥，抽真空至真空壓力表達到-0.1mpa后關閉真空閥。
②開保護氣體減壓閥，開真空閥，對爐膛充氣，使真空壓力表回至“0”后，關閉真空閥。
③重復步驟①和②三次，使爐膛內的空氣被排盡。
④關機械泵。對爐膛充氣使真空壓力表回至“0”后，打開放氣閥，調節微調閥，使氣體流量穩定，出氣端水泡連續。
⑤對爐膛進行加溫，應按“調節儀”進行，結合實驗工藝要求操作。
⑥實驗結束，爐子溫度降至實驗工藝要求范圍后，先關閉放氣閥，在關閉真空閥，關微調閥和氣體減壓閥。
⑦關閉總電源、循環水（一般爐溫小于60℃，關閉循環水）。
高溫真空氣氛爐的注意事項：
1、清化jia(kcn)不可與酸類混置，因兩者可產生劇毒之kcn氣體。
2、除了做實驗外，不要停留在高溫爐管區。
3、一旦發現有妨礙安全之事物時，請立即通知有關人員(技術員等)。
4、請節約純水用量。
5、實驗工作完畢時，若無人繼續使用，請關特殊氣體，保留n2流動，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關而沒有關，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請隨手關掉。
6、處理hf時，請戴手套，如不小心碰到hf時，請立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。
7、長短推桿之前端，在還沒使用到時，請朝上以免污染。
8、晶片進出爐口時，承接boat的holder，請勿碰觸爐管口，以免污染爐管。
9、石英玻璃制品請小心使用，以免破裂，引起嚴重割傷。
10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等，請勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板漬水。

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