等離子硅片清洗機離子體能量密度:
能量密度是指在一定的空間或質(zhì)量物質(zhì)中儲存能量的大小，因此能量密度分為質(zhì)量能量密度和容積能最密度兩種。如果密度在質(zhì)量或空間中分布是均勻的則質(zhì)量能量密度是總能量除以擁有這些能量的物質(zhì)的總質(zhì)量；等離子硅片清洗機容積能量密度是總能量除以這些能量存在的空間的體積大小。如果密度在質(zhì)量或空間中分布不均勻就要按照密度分布的實際狀況求解。
在等離子硅片清洗機大氣壓流動式等離子體反應器中，影響等離子體能量密度的主要因素是原料氣流量f和等離子體注入功率p。原料氣流量是影響反應體系中活性粒子密度和碰撞概率的主要因素之一，等離子硅片清洗機等離子體注入功率是產(chǎn)生等離子體中各種活性粒子(高能電子、活性氧物種、甲基自由基等)的能量來源，兩者的動態(tài)協(xié)同影響可用能量密度ed(kj/mol)描述。
ed=p/f (1-20)
式中，ed為能量密度(kj/mol)；p為等離子體功率(kj/s)；f為原料氣體摩爾流量(mol/s)。

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