氦質譜檢漏設備方法
氦質譜檢漏儀(heliummassspectrometerleakdetector)是氣體工業術語，用氦或氫來表示泄漏氣體，用氣體分析儀來檢測氦來檢測泄漏。氦的底部噪聲低，分子量和粘度系數小，容易通過泄漏孔擴散；此外，氦是惰性氣體，不腐蝕設備，因此常用氦來表示泄漏氣體。將這種氣體噴射到接有氣體分析儀(調整到只對氦反應的工作狀態)的被檢容器上。如果容器有泄漏孔，分析儀會反應，從而知道泄漏孔的位置和泄漏量。
氦質譜泄漏檢測技術是真空泄漏檢測領域的技術。由于泄漏檢測效率高、操作簡單、儀器反應靈敏、精度高、不易受到其他氣體的干擾，廣泛應用于電阻爐泄漏檢測。氦質譜泄漏檢測儀是一種氣密性檢測儀，由氦氣作為泄漏氣體制成。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室、抽氣系統和電氣部件組成。質譜室內燈絲發射的電子在室內來回振動，與室內氣體和泄漏孔進入室內的氦氣相互碰撞，使其電離成為正離子。這些氦質譜泄漏檢測儀在電阻爐泄漏檢測中較常用檢漏方法。
噴氦法檢漏示在檢測較大部件時要借助機械泵進行真空預抽,就可以提高檢漏效率和時間,如圖5 所示,噴氦法在檢查那些結構比較復雜的,密封口和焊縫又比較多而且擠在一起的小容器時,由于氦噴出后會很快擴散開來,往往不容易準確地確定漏隙所在的部位,要采取從不同角度噴氦,仔細觀察反應時間上的差別和將已發現的漏孔用真空封泥暫時封起來等辦法,就可以把漏孔逐個檢出。

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