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概述CRF plasma工作溫度和產生等離子的必要條件

概述crf plasma工作溫度和產生等離子的必要條件:
一、crf plasma工作溫度
盡管經過加工處理原料的幾秒鐘后,其工作溫度在60°-75°之間,但是這一數據資料是根據噴槍距離原料15毫米,輸出功率500w,與120mm的三軸速度相匹配。不過輸出功率,接觸時間段,加工處理的相對高度都是會對工作溫度有一定的直接影響。須要特別注意的是,大氣plasma噴槍作業時噴出的火焰分為內火焰和外火焰。我們清洗的時候基本都是用外火焰清洗。內火焰在噴嘴里,從表面看不見。可是假如在噴出來“火焰”的情況下下長一段時間朝著某一個點不運作進行加工處理非常容易對表層造成燒灼。因此大氣低溫plasma的工作溫度要在實際的工作狀況下才可以測得具體的數據。
而真空型plasma就沒這么繁雜,按主機電源輸出功率區分,40khz和13.56兆赫茲為例:通常情況下情況下下原材料放進腔體內作業,輸出功率為4okhz通常情況下工作溫度為65°之下,再者機器里邊配有強冷風扇,加工處理時間段不長的話,原材料外表溫度都是會跟室內溫度相同。輸出功率為13.56兆赫茲的就會更低,通常情況下情況下是30°之下。
因此加工處理某些遇熱易產生變形的原材料,低溫真空型plasma的是在再適宜不過了。
二、crf plasma中等離子造成必要條件
這些相對比較直接的就可以看得出,大氣型取決于連接的氣體,空氣壓力要做到0.2mpa之間才還可以造成離子。而真空型則取決于真空泵,造成離子前,即便不連接任何的外接的氣體,要將內腔里邊的真空度抽到25pa之下才可以造成離子。

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