掃描電鏡液體熱電原位系統攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實驗中,采用mems微加工工藝,使電化學芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm,極大減少了對電子束的干擾,液相環境可達到納米級分辨率。本公司提供的掃描電鏡液體熱電原位系統有高安全性:
1.市面常見的其他品牌液體樣品桿,由于受自身液體池芯片設計方案制約,只能通過液體泵產生的巨大壓力推動大流量液體流經樣品臺及芯片外圍區域,有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴散效應進入芯片中間的納米孔道,芯片觀察窗里并無真實流量流速控制。
2.采用納流控技術,通過壓電微控系統進行流體微分控制,實現納升級微量流體輸送,原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別,有效保證電鏡安全。
3.采用高分子膜面接觸密封技術,相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風險。
4.采用超高溫鍍膜技術,芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優點。
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