目前,智能傳感器的實現是沿著傳感器技術發展的三條途徑進行的。
1 非集成化實現
非集成化智能傳感器是將傳統的基本傳感器、信號調理電路、帶數字總線接口的微處理器組合為一個整體而構成的智能傳感器系統。
這種非集成化智能傳感器是在現場總線控制系統發展形勢的推動下迅速發展起來的。自動化儀表生產廠家原有的一套生產工藝設備基本不變,附加一塊帶數字總線接口的微處理器插板組裝而成,并配備能進行通信、控制、自校正、自補償、自診斷等智能化軟件,從而實現智能傳感器功能。這是一種經濟、快速建立智能傳感器的途徑。
2 集成化實現
這種智能傳感器系統是采用微機械加工技術和大規模集成電路工藝技術,利用硅作為基本材料來制作敏感元件、信號調理電路以及微處理器單元,并把它們集成在一塊芯片上構成的。集成化實現使智能傳感器達到了微型化、結構一體化,從而提高了精度和穩定性。敏感元件構成陣列后,配合相應圖像處理軟件,可以實現圖形成像且構成多維圖像傳感器,這時的智能傳感器就達到了它的形式。
3 混合實現
要在一塊芯片上實現智能傳感器系統存在著許多棘手的難題。根據需要與可能,可將系統各個集成化環節(如敏感單元、信號調理電路、微處理器單元、數字總線接口)以不同的組合方式集成在兩塊或三塊芯片上,并裝在一個外殼里。
4 發展及趨勢
向高精度發展,向高可靠性、寬溫度范圍發展,向微型化發展,向微功耗及無源化發展,向智能化數字化發展,向網絡化發展。
5 發展重點
應用機器智能的故障探測和預報,多維狀態傳感的研究與開發,目標成分分析的遠程傳感,用于資源有效循環的傳感器智能。
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智能傳感器的實現途徑與發展
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