氦質譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。
氦氣作為惰性氣體，不會腐蝕設備，且在容器環境和質譜環境中干擾較少，信號較純，因而
常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調整到僅對氦氣反應的工作狀態的氣體
分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量
大小。
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀
器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。
以西格瑪旗下的safchitech子公司為例
epichem(epichemlimited,特殊氣體分部)要求ess設計并建造了一套檢測系統,用于泵壓、
烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測以及有機金屬起泡劑的制備氣認證。
起泡器(過去常用于向半導體工業提供有機金屬)是一些體積較小的金屬罐，配置有進出閥。
由于具有高真空超潔凈的特點，因此起泡器在填充前要求相當的潔凈。同時，由于起泡器內
填充的是氧氣，避免泄漏發生爆炸也至關重要。
針對此應用，ess開發出了一種特殊的雙進樣端口的質譜系統，它具有一個經校準的正壓泄
漏測試模塊，還具有一個自動化的高真空測試模塊。
首先，將起泡器放置于平臺上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測
裝置“嗅辨”一下。任何檢測到的泄漏記錄與起泡器序列號一一對應，發生任何超過用戶設
置的zui大允許結果泄漏的起泡器都會被拒絕放行。
然后將起泡器安裝10個一排的裝置上，該裝置配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件*
控制下，外部管線抽真空并保持狀態，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時，質譜系統
可以監測任何氦泄漏。
若通過泄漏測試，將起泡器抽真空、烘烤。測試結束時，質譜系統會自動分析起泡器和接頭
管線中的氣體。為保證測試結果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于1ppm。
測試結束時，會提醒操作人員，并顯示測試結果是通過還是拒絕，所有測試數據將會被記錄，
便于溯源。
監測組分
檢測限
丙酮(acetone)
0.5ppm
乙醇(ethanol)
0.5ppm
氦氣(helium)
0.5ppm
氮氣(nitrogen)
0.5ppm
氧氣(oxygen)
0.5ppm
三氯乙烯(trichloroethylene)
0.5ppm
水(water)
0.5ppm
*：essreactorr系列質譜儀
reactorr-s質譜儀
與reactorr-v具有相同的硬件平臺
占地空間小，節省潔凈室操作空間
配備軟件，用于半導體檢測
可用于解決客戶故障，優化半導體應用，節省時間和金錢。
reactorr-v真空過程監控的質譜系統
?
于監測真空處理，如真空加熱處理，太陽能電池板制程等
配備全自動進樣端口，可不中斷或不干預式監測整個過程
可以直接與真空腔室耦合連接
英國ess產品
ess公司是世界yi流的高質量質譜系統制造商，開發了一系列氣體分析應用，和制造了氣體
分析的ms監測系統。
ess產品型號眾多，分別針對各種應用。我們提供適合各種應用的不同進樣系統以及特定型
號，一直在持續開發新品以滿足新的應用，敬請關注。

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