高真空擴散泵油的另一個重要性能參數是其熱裂解性能。 泵在高溫下工作會裂開，由于泵油產生的高蒸汽壓裂紋會導致抗氧化性較差，從而影響泵的極限壓力。 如果由于事故原因，高溫泵油短時間暴露在大氣中，抗氧化能力強的泵油會迅速恢復其原始性能，而抗氧化性能差的泵油則會變質甚至變質。 報廢。 用于超高真空的擴散泵，需要長時間連續運行的擴散泵，以及每天循環次數高的真空設備，應使用較小的熱裂解和高抗氧化性。 應使用合成油（例如硅油和聚苯醚）來測量泵油的抗氧化性。 可以在短時間內反復填充到真空系統中的大氣中，直到泵無法正常工作為止。 擴散泵油的抗氧化性能如表2-3所示。
從表2-3中的數據可以看出，硅油具有優異的抗氧化性和良好的安全性能。 solbrig曾經將系統中的純氧壓力增加到1 / 2atm（1atm = 101325pa）。 使用dc705和五環聚苯醚。 兩種油都不會引起爆炸。 另外，硅油具有良好的耐熱性，強大的水蒸氣泵送能力和低回油率。 它價格適中，是超高真空油擴散泵的理想工作流體。 硅油的主要缺點是在電子和離子轟擊條件下附著在電極上的油膜會產生固體聚合物硬膜，影響電子設備和電極的性能，并增加真空電離規的測量誤差 。 硅油具有很強的蠕變能力，容易污染系統。 在不能使用硅油的體系中，可以代替諸如五環聚苯醚和癸二酸氫的油。全氟聚醚油（fomblin）是由碳，氟和氧組成的化合物，不含氫和硅。 具有低蒸氣壓和良好的潤滑性能，更好的熱穩定性，在熱解過程中不產生碳氫化合物和氫，也沒有硅化物絕緣膜，并且它不與大多數腐蝕性化學物質反應。 但是在相同的加熱功率條件下，抽速比五環聚苯醚低，價格也較昂貴。 其主要物理性能如表2-4所示。
無論使用哪種工作流體，在擴散泵運行時都必須特別注意大氣，否則含氧的泵油會影響泵的極限壓力。 嚴重氧化的油只能通過泵本身的分餾來恢復其泵送性能。 擴散泵的所有零件都需要*清潔，并更換新油。 對于常用的清潔液，可以依次用十氫化萘，丙酮或三氯乙烯，丙酮和洗滌脫氧的泵油。 較輕的氧化劑可用丙酮和清洗。 聚苯醚油可溶于三氯乙烯。 由于三氯乙烷的毒性小于三氯乙烯，因此在清潔聚苯醚油時可以使用三氯乙烷，丙酮。 全氟聚醚油必須是氟化的。 （例如三氯三氟乙烷或全氟烷烴）。
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