超聲波霧化機利用高頻聲波（超出人類聲覺范圍）產生霧化功能。盤片狀壓電式陶瓷換能器接收來自寬頻超聲波發生器的高頻電能，并把它轉化成同樣頻率的振動機械運動，這與換能器偶合一起的兩個鈦質柱筒將機械振動增強。 換能器化成的激蕩產生沿噴嘴長度方向的持續聲波，聲波的波幅在達到霧化面時大，這是位于噴嘴前端的細小直徑部位。 一般而言，高頻噴嘴尺寸較小，產生 的霧滴也較小，同時較低頻噴嘴的流量低些。 液體通過噴嘴全長的一個大而無堵塞通道導入至霧化面。出現在霧化面的液體吸收了振動能量，因此而霧化。

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