產(chǎn)品名稱:高倍測量顯微鏡
產(chǎn)品型號:pz-jtm-6090c
產(chǎn)品簡介:主要用于lcd、pdp、pcb等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、制造提供所需的檢測設(shè)備。具有觀察olb壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
產(chǎn)品特點:
高倍測量顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、pcb加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
1. z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. x、y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向,保證了機械系統(tǒng)的穩(wěn)定,提高了測量精度
3. x、y、z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測量
5. 內(nèi)置偏光測量光學(xué)模塊
6. 自主開發(fā)qms3d-m軟件,高清晰進口1/2彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置,可適應(yīng)復(fù)雜工件的測量
8. 可實現(xiàn)z軸自動對焦
9. 具有偏光和dic檢測功能
10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
規(guī)格參數(shù):
型號
jtm-6065c
jtm-6090c
工作臺
玻璃臺尺寸(mm)
690*770
640*1070
x、y運動行程(mm)
600*650
600*900
z向行程(mm)
200
200
外形尺寸(mm)
1500*1350*1510
1800*1350*1510
儀器重量(kg)
1300
1550
x、y、z向分辨力(um)
0.1
x、y示值誤差(um)
e1xy=(2.5+l/200)
物鏡放大倍率誤差
包括畸變在內(nèi)的放大率誤差:≦0.08%
落射照明光源
可調(diào)高亮度led燈源
底光照明光源
可調(diào)條型光源
電源
ac 100v-240v 50/60hz
氣源壓力
≧0.5mpa
空氣流量
120l/min(0.4 mpa)
溫度范圍
20±2℃<1℃/h <2℃/24h <1℃/m
濕度
55%~65%
目視系統(tǒng)
影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)
5x、10x、20x、50x
目鏡放大倍數(shù)
10x雙鏡筒
1/2”ccd攝像機
總放大倍數(shù)
50x~500x
140x~1400
(17”顯示囂,分辨率1024*768)
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