多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析
測(cè)量示例可以測(cè)量從半導(dǎo)體等精密加工產(chǎn)品到眼鏡和汽車(chē)零件的各種樣品的膜厚。
f3-cs桌面式膜厚測(cè)量系統(tǒng)
f3-cs 是測(cè)量小樣品的測(cè)量系統(tǒng)。與測(cè)量臺(tái)集成的測(cè)量系統(tǒng)使其易于攜帶。只需將樣品的測(cè)量面朝下放在載物臺(tái)上即可進(jìn)行測(cè)量，大約1秒即可測(cè)量膜厚和折射率。
主要特點(diǎn)緊湊的尺寸
輕松連接，僅 usb 連接
光學(xué)常數(shù)分析（折射率/消光系數(shù)）
主要用途光學(xué)鍍膜硬涂層、防滴膜等
平板有機(jī)膜等
產(chǎn)品陣容模型f3-cs-uvf3-csf3-cs-近紅外
測(cè)量波長(zhǎng)范圍190 – 1100nm 380 – 1050nm 950 – 1700nm
膜厚測(cè)量范圍
3nm – 40μm 15nm – 70μm 100nm – 250μm
準(zhǔn)確性*± 0.2% 薄膜厚度 ± 0.4% 薄膜厚度
1納米 2納米 3納米
*取決于樣品和測(cè)量條件

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